真空鍍膜機(jī)用于在真空條件下，采用電阻式蒸發(fā)源的形式，對石英晶片蒸鍍一層導(dǎo)電膜，通常為鉻和

銀，使其形成電極，以便被作成各種頻率的石英晶體振蕩器，真空鍍膜機(jī)可適用于表晶晶振器和高頻振器的廠家。

其特點為：

１．整個鍍膜過程是在真空、恒溫、自動控制中進(jìn)行的，保證了膜層的均勻性、一致性及膜層的牢固度。

２．在連續(xù)高溫烘烤的環(huán)境中，18個工位的夾具連續(xù)60-120度翻轉(zhuǎn)，夾具定位準(zhǔn)確，無噪音、無卡滯現(xiàn)象，確保一次蒸鍍的6048個晶片上每個被鍍表面蒸鍍上均勻、牢固的膜層。

３．真空室結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊、合理、可靠性好。

４．真空控制選用可編程控制器及石英晶體膜厚速率監(jiān)控儀，可分層控制膜層厚度，當(dāng)膜層達(dá)到一定厚度時，蒸發(fā)源擋板自動關(guān)閉并監(jiān)測蒸發(fā)速度，實現(xiàn)真空控制自動化。